LIMMSは、フランス国立科学研究センター(CNRS)と生産技術研究所の共同研究ユニットとして1995年に設立されました。CNRSと日本学術振興会の支援のもと、創立以来470名を超えるCNRS常任研究員やポスドク研究員、博士学生などを受け入れています。また、欧州委員会FP7-INCOLABプロジェクトが採択され、我が国初の日欧国際共同研究ラボとしてEUJO-LIMMSを実施しました（2011-2016）。2014年にはLIMMSのフランス拠点としてSMMiL-Eをリール市に開設。LIMMSによる最先端のバイオMEMS技術を臨床応用し、ガンなどの疾病治療や原因解明をめざす、医工学連携研究を実施しています。また、エネルギーハーベスティングに関するCRESTプロジェクト（JST)、最先端DNAストレージに関するフランス国家PEPRプロジェクトへのLIMMSメンバーの参加など、多数の共同研究を推進しています。また、2024年にはCNRSの支援を受け、アジア諸国との連携強化のための国際研究ネットワークEURA-LIMMSを立ち上げました。