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ゲートオールアラウンド型ナノシート酸化物半導体トランジスタを開発――半導体の高集積化・高機能化へ期待――
ゲートオールアラウンド型ナノシート酸化物半導体トランジスタを開発――半導体の高集積化・高機能化へ期待――

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東京大学 生産技術研究所 小林 正治 准教授と、奈良先端科学技術大学院大学 先端科学技術研究科 物質創成科学領域 浦岡 行治 教授、髙橋 崇典 助教らによる共同研究グループは、結晶化酸化物半導体の形成技術を開発し、トランジスタの高性能化・高信頼性化を実現しました。
同技術によりゲートオールアラウンド型酸化物半導体トランジスタを開発しました。
半導体の高集積化とそれによる高機能化により、ビッグデータを利活用する社会サービスの展開が期待されます。