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結晶系を揃え、原子スケールで乱れのない超伝導体/半導体の接合に成功~新機能を持つ窒化物半導体デバイス開発への一歩~
結晶系を揃え、原子スケールで乱れのない超伝導体/半導体の接合に成功~新機能を持つ窒化物半導体デバイス開発への一歩~

小林篤先生(1200_800).jpg

東京大学 生産技術研究所の小林 篤 特任准教授、上野 耕平 助教、藤岡 洋 教授、大学院工学系研究科 修士課程の紀平 俊矢 大学院生(研究当時)、博士課程の武田 崇仁 大学院生、附属スピントロニクス学術連携研究教育センターの小林 正起 准教授、物質・材料研究機構の原田 尚之 独立研究者の共同研究グループは、窒化ニオブ超伝導体と窒化アルミニウム半導体の結晶系を揃える技術を開発し、原子スケールで乱れのない高品質な異種機能材料接合を実現しました。
本研究グループは、精密な薄膜成長技術と構造評価技術を駆使することで、1,200℃を超える高温で窒化ニオブが窒化アルミニウムと同じ六方晶系に結晶化することを発見しました。
また独自に発展を遂げてきた窒化物半導体と窒化物超伝導体のエレクトロニクスを融合させました。今後、新構造量子ビットや単一光子制御素子の社会実装に向けて、材料評価やデバイスプロセスの開発を進めていきます。