#東大生研 の野村 政宏 准教授らの研究グループは、光とフォノンの混合状態である表面フォノンポラリトンを用い、窒化シリコン薄膜の熱伝導率を倍増することに成功しました。新しい放熱機構として、半導体デバイスの高性能化への貢献が期待されます。