【共同発表】光で窒化シリコン薄膜の熱伝導率を倍増～半導体デバイスの高性能化につながる新たな放熱機構～（発表主体：科学技術振興機構）
#東大生研 の野村 政宏 准教授らの研究グループは、光とフォノンの混合状態である表面フォノンポラリトンを用い、窒化シリコン薄膜の熱伝導率を倍増することに成功しました。新しい放熱機構として、半導体デバイスの高性能化への貢献が期待されます。
研究紹介ポスター
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