#東大生研 小林 正治 准教授と、奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学領域 浦岡 行治 教授らによる共同研究グループは、ナノシート状の酸化物半導体を用いて高性能・高信頼性なトランジスタを開発しました。原子層堆積法により極めて薄い酸化物半導体の成膜方法を開発しデバイス集積しました。半導体の高集積化とそれによる高機能化により、ビッグデータを利活用する社会サービスの展開が期待されます。