■走査型プローブ顕微鏡用ナノ振動子研究会　　　　　　　　　　　　　　RC-9

＜ナノ振動子で飛躍的高感度化を目指す＞

■代表幹事：		川勝英樹（東京大学 生産技術研究所 助教授） 藤田博之（東京大学 生産技術研究所 教授） 年吉 洋 （東京大学 生産技術研究所 講師） 星 泰雄 （東京大学 生産技術研究所 助手）
■連絡先：		川勝英樹 ＦＡＸ ： （０３）３４０２ - ９５６８ e-mail：kawakatu@iis.u-tokyo.ac.jp

■主旨

走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）において力を検出する場合、プローブを支持しているカンチレバーの機械的特性、たとえば固有振動数とＱ値が検出可能な力分解能を決定づける。ナノメートルオーダの振動子（以下、ナノ振動子）は、従来の短冊形のカンチレバーに対してその大きさが千分の１程度で、飛躍的感度の向上が期待できる。本研究グループでは、これまで３年間にわたって行ってきたナノ振動子の研究成果を踏まえて、ＳＰＭの感度の飛躍的向上を参加メンバーとともに目指し、日本発の新プロービング手法を確立する。また、結晶格子を基準とした測長と位置決めを中心に、ＳＰＭの計量応用についても取り上げる。

■その他
年会費：	５０万円
定員：	１０社程度
運用方法：	年３回定例研究会を開催予定。研究会では研究の方向付けと成果報告を行う。必要により、随時臨時研究会を開催する。