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【概要】
超小型機械を作る 本所では、半導体技術と精密機械加工技術を組み合わせて、超微細加工法を開発。ミクロやナノの世界で活躍する超小型機械(マイクロマシン)を作ることに成功しました。現在、フランスやスイスなど海外の研究所機関とも協力しながら、小さな機械に情報や光、流体などを扱う能力を与え、情報技術から、ナノテク、医用まで、幅広い応用を目指しています。 ----------------------------------------- [おもな研究者]
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![]() 転がり回転する静電マイクロモータ 1.ロータ 2.中心軸 3.4.駆動電極 (1992,IBM東京基礎研究所、東大生産研) |
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