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 ヘリウム液化機全景 |
 ヘリウム液化機 L140 |
 ヘリウム液化用圧縮機 DS141 |
 液化ヘリウム貯槽 CH-2500 |
 液化ヘリウム供給 |
 ヘリウム乾燥器 |
 回収ガス圧縮機 C5N-210GX 50Nm3/h |
 回収ガス貯蔵バック |
 長尺カードル 2250m3(at 14.7MPa) |
 長尺カードル |
 液化窒素供給器 |
 液化窒素供給器 |
 液化窒素貯槽 |
 液化窒素蒸発器 |
 イオン交換水 製造装置 |
一次純水製造装置 TW-L3000 供給水量 3000Liter/h 比抵抗 5MΩ・㎝ 以上 送水ユニット DIW-1500 供給水量 1500Liter/h |
