ヘリウム液化機全景	ヘリウム液化機	ヘリウム液化用圧縮機	液化ヘリウム貯槽	液化ヘリウム供給
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液化窒素供給器

液化窒素供給器

液化窒素貯槽

液化窒素蒸発器

窒素ガス供給装置

イオン交換水　　 　製造装置

一次純水製造装置 　　TW-L3000　供給水量　3000Liter/h 　　 　　　　　　　　　 比抵抗　　5MΩ・�p　以上 送水ユニット 　　DIW-1500　供給水量　1500Liter/h