装置の構成
- 本装置は、都水を原水として、最初に一次純水製造装置（型式：TW-L3000）に原水を取り入れる。TW-3000で、連続的に前処理（ファインセップ、FS：NML-E20）ならびに逆浸透膜処理（ROモジュール：NR-SP-8995）を行った後、イオン交換処理（イオン交換塔：NCC-200M）により一次純水を製造する。
- 次に、DIW供給ユニット（型式：DIW-1500）により、一次純水を原水として加圧送水し、所内向け各研究室まで供給している。
- また、一次純水のユースポイント先として、超純水製造装置（クリーンルーム向け）にも供給している。
- また、供給ユニットからクリーンルーム内への循環ループを配備している。
性能仕様
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| 項目 |
単位 |
TW-3000 |
DIW-1500 |
備考 |
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一次純水 |
一次純水 |
（参考：超純水） |
| 水量 |
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