半導体級シリコンの製造に関する研究
半導体産業から規格外などの理由で排出されるシリコンを出発原料として、それに含まれる不純物（P,Sbなど）を除去し、半導体原料として再資源化する研究を行っている。４００ｋｗ大型電子ビーム溶解装置を用い、実用規模の精製実験を行っている。今までに３０ｋｇ級インゴットの製造に成功し、精製したシリコンにて単結晶引き上げを行った。太陽電池級として使用できる純度が得られている。
前田研究室
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| 30kg級大型多結晶インゴット | ||
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| 精製させたシリコンから成長させた単結晶 | 大型電子ビーム溶解装置 | |
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