VI. 研究および発表論文


2. 著書および学術雑誌等に発表したもの
マイクロメカトロニクス国際研究センター

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第49号 2000年度
2001.8.23


藤田(博)研究室 Fujita H. Lab.

Autonomous Distributed System for Cooperative Micromanipulation in Distributed Manipulation: S. Konishi, Y. Mita, I. Kohlbechker and H. Fujita・ed.K. Boehringer, H. Choset, Kluwer Academic Pblc, Boston, 2000.1 B

What can MEMS do for Robotics?: H. Fujita・ROBOTICS RESEARCH, The Ninth International Symposium, John M. Hollerbach and Daniel E. Koditschek(Eds), pp.377-383, 2000.5 B

繊毛や筋肉に学ぶマイクロアクチュエータと搬送システム: 藤田博之・バイオミメティックスハンドブック, pp.904ー915, エヌ・ティー・エス, 2000.9 B

Living cells captured on a bio-microsystem devoted to DNA injection: B. Le Pioufle, P. Surbled, H. Nagai, Y. Murakami, K.S. Chun, E. Tamiya and H. Fujita・Materials Science and Engineering: C Volume 12, Issues 1-2,, Pages 77-81, 2000.8.18 C

マイクロマシンにおける駆動技術(マイクロアクチュエータ): 藤田博之・J. Vac. Soc. Jpn.(真空), Vol.43. No.2, pp.98-105, 2000.2 C

Fabrication of array of hollow microcapillaries used forinjection of genetic materials into animal/plant cells: Kyoseok Chun, G. Hashiguchi, H. Toshiyoshi and H. Fujita etal・J. Appl., Phys., Vol.38,pp.L279-281, Mar., 1999 C

Self-aligned Mirror and V-grooves in free-space micromachined optical switches: P. Helin, M. Mita and H. Fujita・Electronics Letters, Vol.36. No.6, IEE, pp.563-564, 2000.3.16 C

電子干渉計測によるナノ構造と電界分布の可視化の試み: 遠藤潤二, 和田恭雄, 藤田博之, 陳  軍・電気学会論文誌E, センサマイクロマシン準部門誌, Vol.120-E, No.6, pp.285-291, 電気学会, 2000.6 C

A Silicon Shadow Mask with Unlimited Patterns and a Mechanical Alignment Structure by Al-Delay Masking Process: Y. Mita, A. Tixer, S. Oshima, M. Mita, J.P. Gouy and H. Fujita・電気学会論文誌E, センサマイクロマシン準部門誌, Vol.120-E, No.7, pp.357-362, 電気学会, 2000.7 C

Microelectromechanical Digital-to-Analog Converters of Displacement for Step Motion Actuators: H. Toshiyoshi, D. Kobayashi, M.Mita, G. Hashiguchi, H. Fujita, J. Endo and Y. Wada・Journal of Microelectromechanical Systems,Vol.9,No.2,pp.218-225, 2000.6 C

電磁駆動によるネジ溝付きワブルモータ: 飯塚哲彦, 藤田博之・電気学会論文誌E, Vol.20-E, No.8/9, pp.392-397, 電気学会, 2000.8 C

A silicon shadow mask for deposition on isolated areas: A. Tixier, Y. Mita, J. P. Gouy and H. Fujita・J. Micromech. Microeng. 10(2000), pp.157-162, 2000.8 C

マイクロマシン実用化の現状と将来−1 特集号に寄せて: 藤田博之・電気学会誌, Vol.120, No.11, pp.672, (社)電気学会, 2000.11 C

Multiple-height Microstructures Fabricated by ICP-RIE and Embedded Masking Layers: M. Mita, Y. Mita, H. Toshiyoshi and H. Fujita・電気学会論文誌E, センサマイクロマシン準部門誌, Vol.120-E, No.11, pp.493-497, 電気学会, 2000.11 C

マイクロメカニカル光デバイス: 藤田博之, 年吉 洋・応用物理, Vol.69, No.11, pp1274-1284, (社)応用物理学会, 2000.11 C

Self-Aligned Vertical Mirrors and V-Grooves for Magnetic Micro Optical Matrix Switch: P. Helin, T. Bourouina, H. Fujita, H. Maekoba, O. Cugata and G. Reyne・NMT'2000,Vol.1,No1,p.55-87. Nano et Microtechnologies: Microcapteurs et Microsystemes Integres, 2000 C

Self-Aligned Mirror and V-grooves in free-space micromachined optical cross-connects.: P. Helin, T. Bourouina, M. Mita, G. Reyne and H. Fujita・SPIE Optics and Information Systems. Special issue on Optical MEMS. Vol.11.No.2. page 4, December 2000 C

Self-aligned Micromachining Process for Large-scale, Free-space Optical Cross-connects: P. Helin, M. Mita, T. Bourouina, G. Reyne and H. Fujita・IEEE/LEOS Journal of Lightwave Technology, Vol.18, No.12(2000)1-8, 2000 C

Self-Aligned Vertical Mirror and V-Grooves Applied to an Optical-Switch: Modeling and Optimizationof Bi-Stable Operation by Electromagnetic Actuation: H. Maekoba, P. Helin, G. Reyne, T. Bourouina and H. Fujita・Sensors and Actuators A, Physical, Vol.A(86),(2000)1-7, 2000 C

Mechanical Nonlinearities in a Magnetically Actuated Resonator: T. Bourouina, A. Garnier, H. Fujita, T. Masuzawa and J-C. Peuzin・Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol.10(2000)265-270, 2000 C

Magnetic actuation of bending and torsional vibrations for 2D-optical scanner application: A. Garnier, T. Bourouina, H. Fujita, T. Hiramoto, E. Orsier and J-C. Peuzin・Sensors and Actuators A, Physical, Vol.A(84),(2000)156-160, 2000 C

Fabrication of Silicon-Based Filiform-Necked Nanometric Oscillators: D. Saya, K. Fukushima, H. Toshiyoshi, H. Fujita, G. Hashiguchi and H. Kawakatsu・Jpn. J. Appl. Phys. Vol.39, Part 1. No.6B(June 2000)pp.3793-3798, 2000.6 C

Fabrication of a silicon based nanometric oscillator with a tip form mass for scanning force microcopy operating in the GHz range: H. Kawakatsu, H. Toshiyoshi, D. Saya, K. Fukushima and H. Fujita・J. Vac. Sci. & Tech. B18, No,.2(2000)p.607-11, 2000 C

An array of hollow microcapillaries for the controlled injection of genetic materials into animal/plant cells: K. Chun, G. Hashiguchi, H. Toshiyoshi and H. Fujita, et al・IEEE Workshop on MEMS,Orlando, pp.406-411. Jan.17-21,1999 D

DNA injection into cell conglomerates by micromachined hollow microcapillary arrays: K. Chun, G. Hashiguchi, H. Toshiyoshi and H. Fujita・et al,Transducers 99, Sendai, pp.44-47.June.7-10,1999 D

Magneto-Mechanical F.E. Modelling of an Electromagnetic Bi-stable micro Switch: H. Maekoba, P. Helin, T. Bourouina, H. Fujita and G. Reyne・CEFC'2000 Proc. p.152, June 4-7 2000, Milwaukee, USA, 2000 D

New self-aligned micromachining process for large free-space optical cross-connects: P. HELIN, T. BOUROUINA, M. MITA, G. REYNE, H. FUJITA・MOEMS'2000, IEEE/LEOS Proc. pp.119 -120 International Conference on Optical MEMS, 2000.8 D

Magnetically-induced frequency shift in a magneto-mechanical bimorph resonator: T.Bourouina, A.Garnier, H.Fujita, J-C.Peuzin, T.Masuzawa・SPIE International Symposium on Microelectronic Manufacturing(Materials and Device Characterization in Micromachining III), Santa-Clara, USA, 180-191, 2000.9.18-19  D

Magneto-Mechanical F.E. Modelling of an Electromagnetic Bi-Stable μSwitch: H.Maekoba, P.Helin, G.Reyne, T.Bourouina, H.Fujita・IEEE CEFC'2000, 9th biennal Conference on Electromagnetic Field Computation, USA, 152, 2000.6 D

Resonant-type Micro-probe for Vertical Profiler: E.Lebrasseur, T.Bourouina, J-B.Pourciel, M.Ozaki, T.Masuzawa, H.Fujita・IEEE/AMCM MSM'2000, 3rd conference on Modelling and Simulation of Microsystems, San-Diego, USA, 285-288, 2000.3.27-29   D

3-D Microsystem Packaging For Interconnecting Electrical, Optical And Mechanical Microdevices To The External World: A. Tixier, Y. Mita, S. Oshima, J.-P. Gouy and H. Fujita・IEEE International Conference on MicroElectroMechanical Systems(MEMS 2000), Miyazaki, Japan.pp.698-703, 2000.1 D

Embedded-Mask-Methods for mm-scale multi-layer vertical/slanted Si structures: A. Tixier, Y. Mita, S. Oshima, J.-P.Gouy and H. Fujita・IEEE International Conference on MicroElectroMechanical Systems(MEMS 2000), Miyazaki, Japan.pp.300-305, 2000.1 D

Sensor-Microactuator Collocated MEMS for Fully-Integrated Microsystems: Y. Mit, A. Kaiser, P. Garda, B. Stefanelli and H.i FUJITA・IPEC-Tokyo 2000 Proceedings vol.3, The Institute of Electrical Engineers of Japan, April 3-7, Keio Plaza Hotel, Shinjuku, Tokyo, Japan, pp.1422-1427, 2000.4 D

Microactuated Optical MEMS: H. Fujita・Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS, Paris, 2000.5.9-11 D

Optical MEMS for Communication Network: H. Fujita・IEICE OECC2000 Technical Digest,Makuhari Japan, pp.36-37, 2000.7 D

MEMS and Optical Applications: H. Fujita and H. Toshiyoshi・Extended Abstracts of the 2000 International Conference on SOLID STATE DEVICES AND MTERIALS, THE JAPAN SOCIETY OF APPLIED PHYSICS, pp.530-531, 2000.8 D

Modeling and Optimization of Bi-stable Optical Switch: H. Maekoba, P. Helin, G. Reyne, T. Bourouina and H. Fujita・IEEE/AMCM MSM'2000, 3rd conference on Modelling and Simulation of Microsystems, San-Diego, USA,166-169, 2000.3.27-29 D

A fast, robust and simple 2-D Micro-optical Scanner based on contactless magnetostrictive actuation: A. Garnier, T. Bourouina, E. Orsier, T. Masuzawa, H. Fujita, T. Hiramoto and J.C. Peuzin・IEEE MEMS'2000, 13th Conference on MicroElectroMechanical Systems,Miyazaki, Japan.715-720, 2000.1.23-27 D

Self-aligned vertical mirrors and V-grooves:Applied to a self-latching matrix switch for optical networks: P. Helin, M. Mita and H. Fujita・IEEE MEMS 2000, 23-27 , pp.467-472, Miyazaki, Japan, 2000.1 D

Micromachined Tools for Nano and Bio Technologies: H. Fujita・Korean MEMS Fair 2000 Seminar, pp.1-11, Microsystem Technology Center in Seoul National University, 2000.10 D

MICROFABRICATION TECHNOLOGY : PRESENT AND FUTURE: H. Fujita・Proceedings NFRI-BRAIN International Workshop on Monodisperse Microspheres and Microchannel Technologies, Satellite Session of the Third International Soybean Processing and Utilization Conference(ISPUC-III), Oct. 16-17, 2000, Tsukuba, Japan, pp.650-653, 2000.10 D

FABRICATION OF THROUGH-TYPE MICROCHANNELS FOR MONODISPERSED MICROSPHERES: I. Kobayashi, M. Nakajima, K. Chun, Y. Kikuchi and H. Fujita・Proceedings NFRI-BRAIN International Workshop on Monodisperse Microspheres and Microchannel Technologies, Satellite Session of the Third International Soybean Processing and Utilization Conference(ISPUC-III), Oct. 16-17, 2000, Tsukuba, Japan, pp.674-675, 2000.10 D

Micromachined Tools for Nano Technologies: H. Fujita・Program & Abstract, Japan-Switzerland Bilateral Symposium on Science and Technology in Micro/Nano Scale, Oct. 26-28, 2000, Suzuki-Umetaro Hall, RIKEN and Metropolitan Hotel, Tokyo, RIKEN Symposium, 2000.10 D

Micromachined Tools for Nano Technologies: H. Fujita・Abstracts & CVs, Strategies in Nanotechnology, Japanese German Symposium, October 30-31, 2000, Japanese-German Center Berlin, Berlin, Germany, 2000.10 D

Fabrication of Metalic and Silicon Micro actuators with High-Aspect-ratio Driving Gaps: T. Iizuka, T. Oba and H. Fujita・Digests of APMRC2000 on Mechanical and Manufacturing Aspect of HDD,TP13, 3rd Asia-Pacific, Magnetic Recording Conference, Nov.6-8, 2000, KOKUYO Hall, Tokyo, Japan, 2000.11 D

International collaboration in MEMS: D. Collard, H. Fujita, J.P. Gouy, H. Kawakatsu, T. Masuzawa, B. Kim and H. Toshiyoshi・第6回国際マイクロマシンシンポジウム: 講演資料, pp.11-18, 財団法人マイクロマシンセンター, 2000.11 D

Strength measurement and calculations on silicon-based nanometric oscillators for scanning force microcopy operating in the gigahertz range: H. Kawakatsu, H. Toshiyoshi, D. Saya, K. Fukushima and H. Fujita・Applied Surface Science, vol.157,(no.4), (NC-AFM'99. Second International Workshop on Noncontact Atomic Force Microscopy, Pontresina, Switzerland, 1-4 Sept. 1999.)Elsevier, p.320-5. 13 references, 2000.4 D

Measurement of Characteristics of Nanometric Oscillator for Atomic Force Microscopy: K. Fukushima, D. Saya, H. Toshiyoshi, H. Fujita, G.Hashiguchi and H. Kawakatsu・The 13th IEEE International Micro Electro Mechanical Systems Conference(MEMS 2000), Miyazaki, Japan.2000.1.23- 27, 2000 D

Electrostatic Micro Actuators with High-Aspect-Ratio Driving Gap for Hard Disk Drive Application: T. Iizuka, T. Oba and H. Fujita・2000 International Symposium on Micromechatronics and Human Science, MHS2000, IEEE, Nagoya Congress Center,pp.229-236, 2000.1 D

Fabrication of Metallic and Silicon Micro actuators with High-Aspect-Ratio Driving Gaps: T. Iizuka, T. Oba and H. Fujita・2000 Asia-Pacific Magnetic Recording Conference on Mechanical and Manufacturing Aspects of HDD,APMRC 2000, IEEE, pp.TP13-01-02, 2000.11 D

Magneto-Mechanical F.E. Modelling of an Electromagnetic Bi-stable micro Switch: P. Helin, T. Bourouina, H. Maekoba, H. Fujita and G. Reyne・12th Symposium on Electromagnetics and Dynamics Proc. p 87-92,, Okinawa, JAPAN, June 29-July 1, 2000 E

Effect of Magnetization Orientation and Magnetic Bias Field in a Magnetostrictively-Actuated Silicon-Based Microactuators: T. Bourouina, A. Garnier, G. Reyne, H. Fujita, T. Masuzawa and J-C. Peuzin・12th Symposium on Electromagnetics and Dynamics Proc. p 93-96, Okinawa, JAPAN, June 29-July 1, 2000 E

New Self-Aligned Micromachining Process for Large Free-Space Optical Cross Connect: P. Helin, T. Bourouina, M.Mita, G. Reyne, L. Houlet and H. Fujita・JST'2000, Journees Science et Technologie,, Proc. 2p. Tokyo,JAPAN, 2000.11 E

電気的, 機械的, 光学的デバイスのアセンブリを目指したマイクロコネクタの製作と評価: 大島 聡, 三田吉郎, Tixier Agnes, Gouy Jean-Phillippe, 藤田博之・電気学会研究会資料マイクロマシン研究会, MM-00-1〜8, pp.19-24, 電気学会, 2000.2 E

Siマイクロマシニング技術による微小領域計測用ツインプローブの試作: 角嶋邦之, 三田 信, 橋口 原, 藤田博之・電気学会研究会資料マイクロマシン研究会, MM-00-1〜8, pp.41-44, 電気学会, 2000.2 E

多機能マイクロマシンのチップレベル実装技術: 三田吉郎, 年吉 洋, Agnes Tixier, 大島 聡, Jean-Phillippe Gouy, 藤田博之・マイクロセンサ・マイクロマシンの工業生産プロセスとパッケージ(次世代センサ協議会第28回研究会), pp.49-50, 次世代センサ協議会, 2000.2 E

マイクロマシンと20年後のエレクトロニクス: 藤田博之・異分野研究者フォーラム・20年後のエレクトロニクスへ向けて, pp.135, 科学技術振興事業団, 2000.3.3-7 E

東大生研での磁気応用のマイクロマシン: 藤田博之・電気学会研究会資料マグネティックス研究会, MAG-00-62〜74, pp.61-66, 電気学会, 2000.3.7 E

高異方性エッチングで作製したシリコンシャドウマスクによる三次元構造へのパターニングと精度の評価: 大島 聡, 三田吉郎, Tixier Agnes, Gouy Jean-Phillippe・平成12年電気学会全国大会講演論文集[3], pp1111-1112, 2000.3.21-24 E

ナノ領域計測用Siツインプローブの製作: 角嶋邦之, 三田 信, 橋口 原, 藤田博之・平成12年電気学会全国大会講演論文集[3],p.1114, 2000.3.21-24 E

静電インパクト機構を用いたマイクロアクチュエータ: 天坂洋一, 三田 信, 小林 大, 藤田博之・平成12年電気学会全国大会講演論文集[3], p.1117-1118, 2000.3.21-24 E

SOIウエハによる音響の周波数分析センサの製作と測定: 山下幸一, 藤田博之, 年吉 洋・平成12年電気学会全国大会講演論文集[3], p.1125, 2000.3.21-24 E

リンク梁駆動によるダブルジンバル構造型3軸角速度センサ: 番 政弘, 紺野伸顕, 岡田 章, 宇佐美照夫, 藤田博之・平成12年電気学会全国大会講演論文集[3],p.1149, 2000.3.21-24 E

多機能マイクロマシンのチップレベル実装技術: 三田吉郎, 年吉 洋, Agnes Tixier, 大島 聡, Jean Philippe Gouy, 藤田博之・マイクロマシンの実用化, センサ・アクチュエータ・マイクロマシン・ウィーク2000総合シンポジウムSession 3, 次世代センサ協議会, pp.19-26, 2000.4.27 E

Micromachines for Photonics and Nanotechnologies: H. Fujita・Technical Digest of THE 17TH SENSOR SYMPOSIUM 2000, The Institute of Electrical Engineers of Japan, pp.9-18, 2000.5 E

Fabrication of Twin Nano Probes for Nano Scale Measurement: K. Kakushima, M. Mita, G. Hashiguchi, H. Fujita, J. Endo and Y. Wada・Technical Digest of THE 17TH SENSOR SYMPOSIUM 2000, The Institute of Electrical Engineers of Japan, pp.427-431, 2000.5 E

マイクロマシン-最近の動向と熱流体応用への展開: 藤田博之・マイクロマシンと熱流体, 弟37回日本伝熱シンポジウム E140, 日本伝熱学会, 2000年5月29日, 神戸国際会議場, 2000.5 E

静電インパクト型マイクロアクチュエータの製作と駆動特性: 荒井 誠, 三田 信, 天坂祥一, 小林 大, 藤田博之・電気学会マイクロマシン研究会資料, MSS-00-8, pp.7-12, 電気学会, 2000.9 E

静電ワブルモータの解析とディープRIEによる製作: 薗部 忠, 三田 信, 藤田博之・電気学会マイクロマシン研究会資料, MSS-00-9, pp.13-18, 電気学会, 2000.9 E

Catching and attaching cells using an array of microholes: A. Tixier, L. Griscom, K. Cozic, H. Nagai, B.Le Pioufle, Y. Murakami, E. Tamiya and H. Fujita・第2回化学とマイクロシステム研究会 講演要旨集, p.31, 化学とマイクロシステム研究会, 2000.9 E

マイクロ・ナノプロービングとマニピュレーションの新展開: 藤田博之・日本分析化学会第49年会講演要旨集, p.401, 社団法人日本分析化学会, 2000.9 E

MEMSのフォトニクス応用: 藤田博之・第3回マイクロ波フォトニクス(MWP)研究会, MWP2000-12, pp.75-84, (社)電子情報通信学会, 2000.10 E

単一超伝導体を用いたTESマイクロカロリメータの開発: 福田大治, 大野雅史, 野口佳彦, 高橋浩之, 中沢正治, 安宅学・原子力研究会資料, NE-00-12, pp.1-6, (社)電気学会, 2000.9 E

局所高電界場における極限物理現象の可視化観測と制御: 藤田博之・講演要旨集 シンポジウム「極限環境状態における現象」, pp.54-56, 科学技術振興事業団, 戦略的基礎研究, 推進事業, 2000.11 E

マイクロマシンの動向とマイクロ化学システムへの期待: 藤田博之・SCE2000 第20回キャピラリー電気泳動シンポジウム2000要旨集, pp.22-23, 日本分析化学会・電気泳動分析研究懇談会, 2000.11 E

マイクロメカニカル光デバイス: 藤田博之, 年吉 洋・第7回OPT(Optical Packaging Technology)公開研究会資料, 社団法人エレクトロニクス実装学会, 2000.11 E

磁歪駆動によるマイクロ光スキャナー: 藤田博之・日本応用磁気学会大117回研究会資料, 社団法人日本応用磁気学会, 2000.12 E

静電ワブルモータの解析とディープRIEによる製作: 薗部 忠, 三田 信, 藤田博之・電気学会研究会資料マイクロマシン・センサシステム研究会, MSS-00-9, 電気学会, 2000.9.12 E

ピギーバックアクチュエータのマイクロ加工と制御: 飯塚哲彦, 大場寿彦, 藤田博之・電気学会センサ・マイクロマシン準部門総合研究会, マイクロマシン・センサシステム研究会, MSS-00-30, pp.95-102, 2000.10 E

光機能集積システムにおける MEMSの役割: 藤田博之・光機能集積システム技術, NEDO-IT-9908, pp.113-117, 新エネルギー産業技術総合開発機構, 2000.3 F

局所高電界場における極限物理現象の可視化観測と制御: 藤田博之・平成11年度戦略的基礎研究推進事業:研究年報, pp.588-592, 科学技術振興事業団, 2000.11 F

第3回光マイクロマシン国際会議(MOEMS'99)出席報告: 藤田博之・次世代センサ, Vol.9, No.2, 2000.1 G

MEMS2000報告会「マイクロアクチュエータ」: 藤田博之・MEMS2000報告会, MEMS2000報告会事務局, pp.3-6, 2000.3 G

光マイクロマシンとその応用: 藤田博之・光技術コンタクト, Vol.38, No.5, pp.291-299, (社)日本オプトメカトロニクス協会, 2000.5 G

マイクロマシン応用の発展に向けて: 藤田博之・デンソーテクニカルレビュー, Vol.5, No.1, pp.3-7, 株式会社デンソー, 2000.6 G

マイクロマシン応用の発展に向けて: 藤田博之・真空ジャーナル, No.72, pp.13-17, 日本真空工業会広報委員会, 2000.9 G

マイクロアクチュエータ: 藤田博之・表面技術, Vol.51, No.9, pp.20-26, 社団法人表面技術協会, 2000.9 G

マイクロマシン特集号に寄せて: 藤田博之・溶接学会誌, Vol.69, No.6, pp.6, 社団法人溶接学会, 2000.9 G

最近のマイクロマシニング技術の開発動向: 藤田博之・神奈川県産学公交流研究発表会資料, pp.59, 2000.10 G

MEMSの現状とCAEの役割: 藤田博之・Ansys Conference in Japan 2000:会議資料, 2000.11 G

ミクロの機械の作り方と応用の研究: 藤田博之・情報・知能・精密機器部門ニュースレター, No.20, pp.6-7, 日本機械学会, 2000.10 G

Moemsの現状と将来動向: 藤田博之・光技術コンタクト, Vol.38, No11, pp32-41, 社団法人日本オプトメカトロニクス協会, 2000.11 G

マイクロシステムの現状と実用化への課題: 藤田博之・マイクロシステム技術研究センター設立記念講演会予稿集, 講演3, 立命館大学総合理工学研究機構マイクロシステム技術研究センター, 2000.12 G

ミクロの機械の作り方や動かし方とその応用の研究: 藤田博之・ISASニュースNo.237, pp1-4, 宇宙科学研究所, 2000.12 G

Modeling and Optimization of Bi-stable Optical Switch: H. Maekoba, P. Helin, G. Reyne, T. Bourouina and H. Fujita・ANSYS'2000, ANSYS International User's Conference and Exhibition, Pittsburg, USA,Aug.28-30(2000), 2000 G

Manufacturing of acoustic frequency analysis sensor with SOI wafer: K.Yamashita, T.Bourouina, M.Ogawa, H.Fujita, H.Toshiyoshi・ANSYS Product News,Winter 2000,(in japanese)pp.18-19, 2000 G

増沢 研究室 Masuzawa Lab.

三次元マイクロ加工技術: 増沢隆久・生産研究, 52, 6, pp.8-12, A

微細穴量産加工用放電加工装置の開発: 許 東亞, 増沢隆久, 藤野正俊・生産研究, 52, 9, 2000, pp.34-37, A

やさしいマイクロ加工技術: 増沢隆久・日刊工業新聞社, B

大量微細穴放電加工装置の開発: 許 東亞, 増沢隆久・電気加工技術, 24, 7, pp.1-6, C

Microcutting with Reduced Machining Force by Electrolysis: M. Nagata, K. Wakabayashi, M. Yamada and T. Masuzawa・Int. Journal of Electrical Machining, No.5, January 2000, pp.51-57, D

A new method for three dimensional excimer laser micromachining, hole area modulation(HAM): T. Masuzawa, J. Olde-Benneker and J.J.C. Eindhoven・Annals of the CIRP Vol.49/1/2000,pp.139-142, D

Study on material removal mechanism in Micro ultrasonic machining: K. Egashira and T. Masuzawa・Proc. of 5th International Conference on Progress of Machining Technology 2000,pp.739-743, D

走行ワイヤ工具の放電表面処理と複合加工への応用(第2報)−ワイヤ放電加工面の機上処理: 小菅 守, 角田隆太, 毛利尚武, 古谷克司, 稲村豊四郎, 増沢隆久, 毛呂俊夫, 太田 勝, 鈴木政幸・2000年度精密工学会春季大会講演論文集, p.253, E

マイクロ放電加工における電極消耗に対する電気条件の影響: 蔡 曜陽, 増沢隆久, 藤野正俊・電気加工学会全国大会講演論文集, pp.49-52, E

Resonnant-type micro-probe for vertical profiler, poster presentation: E. Lebrasseur, T. Bourouina, J.-B. Pourciel, M. Ozaki, T. Masuzawa and H. Fujita・MSM 2000, Third International Conference on Modeling and Simulation of Microsystems, 2000 G

A fast robust and simple 2-D micro-optical scanner based on contactless magnetostrictive actuation: A. Garnier, T. Bourouina, H. Fujita, E. Orsier, T. Masuzawa, T. Hiromoto and J.-C. Peuzin・oral presentation, in MEMS 2000, 2000 G

川勝 研究室 Kawakatsu Lab.

原子レベルの計測と制御: 川勝英樹・生産研究, 52巻9号, 2000.9 A

ナノメートルオーダの機械振動子の作製: 佐谷大輔, 福島公威, 年吉 洋, 橋口 原, 藤田博之, 川勝英樹・生産研究, 52巻9号, 2000.9 A

3次元ナノ構造物評価用電子顕微鏡内原子間力顕微鏡の開発: 福島公威, 佐谷大輔, 川勝英樹・生産研究, 52巻9号 pp.438-440, 2000.9 A

走査型力顕微鏡探針のねじれ固有振動振幅マッピング: 河岸孝昌, 加藤 篤, 星 泰雄, 川勝英樹・生産研究, 52巻9号, p.70, 2000.9 A

結晶格子を基準としたリニアエンコーダー: 星 泰雄, 河岸孝昌, 川勝英樹・生産研究, 52巻9号, pp.66-69, 2000.9 A

Strength measurement and calculations on silicon-based nanometric oscillators for scanning force microscopy operating in the gigahertz range: H. Kawakatsu, H. Toshiyoshi, D. Saya, K. Fukushima and H. Fujita・Appl. Surf. Sci. 157, pp.320-325, 2000.4 C

走査型プローブ顕微鏡と関連のある可視化技術: 川勝英樹・電学論E, 120-E, pp.298-305, 2000.6 C

Fabrication of Silicon-Based Filiform-Necked Nanometric Oscillators: D. Saya, K. Fukushima, H. Toshiyoshi, H. Fujita, G. Hashiguchi and H. Kawakatsu・Japan Journal of Applied , Physics Vol.39 pp.3747-3749, 2000.6 C

Development of a Versatile Atomic Force Microscope within a Scanning Force Microscope: K. Fukushima, D. Saya and H. Kawakatsu・Japan Journal of Applied, Physics, Vol.39, pp.3747-3749, 2000.6 C

Velocity Dependence and Limitations of Friction Force Microscopy of Mica and Graphite: Y. Hoshi, T. Kawagishi and H. Kawakatsu・Jpn. J. Appl. Phys. Vol.39, pp.3804-3807, 2000.6 C

Fabrication of single crystal Si multi-probe cantilever array: D. Saya, K. Fukushima, H. Toshiyoshi, G. Hashiguchi, H. Fujita and H. Kawakatsu・in Proc. of The 8th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy & Asian SPM 3, p.44, 2000.12 D

Measurement of characteristics of ultra thin single crystalline silicon cantilever: K. Fukushima, D. Saya, H. Toshiyoshi, G. Hashiguchi, H. Fujita and H. Kawakatsu・in Proc. of The 8th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy & Asian SPM 3, p.45, 2000.12 D

Development of SEM-AFM for measurement of 3D nano-Structures: K. Fukushima, D. Saya and H. Kawakatsu・in Proc. of The 8th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy & Asian SPM 3, p.57, 2000.12 D

Friction Coefficient Change Under Voltage Applied Across Rubbing Interface: T. Imamura, D. Kobayashi and H. Kawakatsu・in Proc. of The 8th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy & Asian SPM 3, p.57, 2000.12 D

Lateral vibration amplitude mapping of the cantilever in atomic force microscopy: T. Kawagishi, A. Kato, Y. Hoshi and H. Kawakatsu・in Proc. of The 8th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy & Asian SPM 3, p.58, 2000.12 D

Millions of cantilevers for Atomic Force Microscope: A. Kato, M. Nagashio, D. Saya, G. Hashiguchi, D. Kobayashi, H. Toshiyoshi, H. Fujita and H. Kawakatsu・in Proc. of The 8th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy & Asian SPM 3, p.59, 2000.12 D

Dependence of crystal orientation on the trajectory of a FFM tip: Y. Hoshi, T. Kawagishi and H. Kawakatsu・in Proc. of The 8th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy & Asian SPM 3, p.60, 2000.12 D

電子顕微鏡内原子間力顕微鏡の開発: 福島公威, 佐谷大輔, 川勝英樹・第47回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, No.2, p.660, 2000.3 E

ナノメートルオーダの機械振動子の作製〜第2報〜: 佐谷大輔, 福島公威, 年吉 洋, 橋口 原, 藤田博之, 川勝英樹・第47回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, No.2, p.664, 2000.3 E

ナノメータ機械振動子の機械特性の計測〜第2報〜: 福島公威, 佐谷大輔, 年吉 洋, 藤田博之, 川勝英樹・第47回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, No.2, p.664, 2000.3 E

表面弾性波によるカンチレバーアレーの駆動: 石塚佐理恵, 河岸孝昌, 小林 大, 川勝英樹・第47回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, No.2, p.665, 2000.3 E

摩擦力顕微鏡による結晶格子像の速度依存性: 星 泰雄, 河岸孝昌, 川勝英樹・第47回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, No.2, p.666, 2000.3 E

ナノメートルオーダの機械振動子の作製〜第3報〜: 佐谷大輔, 福島公威, 年吉 洋, 橋口 原, 藤田博之, 川勝英樹・第61回応用物理学会学術講演会講演予稿集, No.2, p.571, 2000.9 E

マルチプローブカンチレバーアレーの作製: 佐谷大輔, 福島公威, 年吉 洋, 橋口 原, 藤田博之, 川勝英樹・第61回応用物理学会学術講演会講演予稿集, No.2, p.573, 2000.9 E

電子顕微鏡内原子間力顕微鏡の開発〜第2報〜: 福島公威, 佐谷大輔, 川勝英樹・第61回応用物理学会学術講演会講演予稿集, No.2, p.554, 2000.9 E

ナノメータ機械振動子の機械特性の計測〜第3報〜: 福島公威, 佐谷大輔, 年吉 洋, 藤田博之, 川勝英樹・第61回応用物理学会学術講演会講演予稿集, No.2, p.572, 2000.9 E

電界による界面の摩擦係数の変調現象: 今村 剛, 小林 大, 川勝英樹・第61回応用物理学会学術講演会講演予稿集, No.1, p.387, 2000.9 E

走査型力顕微鏡のねじれ固有振動振幅マッピング: 河岸孝昌, 加藤 篤, 星 泰雄, 川勝英樹・第61回応用物理学会学術講演会講演予稿集, No.2, p.572, 2000.9 E

数万個のカンチレバーからなる走査型力顕微鏡: 加藤 篤, 永塩正徳, 佐谷大輔, 年吉 洋, 橋口 原, 小林 大, 藤田博之, 川勝英樹・第61回応用物理学会学術講演会講演予稿集, No.2, p.573, 2000.9 E

結晶格子リニアエンコーダの結晶方位の検討: 星 泰雄, 河岸孝昌, 川勝英樹・第61回応用物理学会学術講演会講演予稿集, No.2, p.572, 2000.9 E

コラール 研究室 Collard Lab.

3D Self-assembling and actuation of electrostatic micro: E. QuevyY, L. Buchaillot, P. Bigotte and D. Collard・30th European Solid State Device Research Conference, ESSDERC 2000, pp.412-415, Cork, Ireland, Sept. 12-14, 2000, 2000.9 D

France / Japan and Japan / Europe initiatives for collaboration on Micromechatronics: LIMMS and CIRMM: D. Collard, H. Fujita, J.P. Gouy, H. Kawakatsu, T. Masuzawa and H. Toshiyoshi・Keynote paper, EUSPEN International Seminar on Future direction for nanotechnology in Europe and Japan, Warwick, U.K., September 18, pp.38-48, 2000, 2000.9 D

Self-assembling of electrostatic micro-mirrors by means of integrated micro-actuators and mechanical latches: E. Quevy, L. Buchaillot, P. Bigotte and D. Collard・proc. 2nd International workshop on Microfactories IWMF 2000, pp.191-194, Fri-bourg, Switzerland, 9-10 October, 2000, 2000.10 D

International Initiative in Micromachines and MEMS: J.P. Gouy, D. Collard, H. Fujita, H. Kawakatsu, B.J. Kim, T. Masuzawa and H. Toshiyoshi・Invited talk, Micro Machine Center International Seminar., Tokyo, Japan, Oct. 31, 2000, 2000.10 D

Optique adaptative: realisation et actionnement dユune membrane continue par un reseau de micro-actionneurs 3D auto-assembles: E. Quevy, L. Buchaillot and D. Collard・20emes Journees Nationales dユOptique Guidee, JNOG 2000, pp.1-3, Toulouse, France, 20-23 Novembre, 2000, 2000.11 D

金 研究室 Kim Lab.

Micromolded SNOM probes: B.J. Kim, Niek van Hulst and Juergen Brugger・SXM4, 4th International Conference on the Development and Technological Application of Scanning Probe Methods,(oral presentation 25-27,September,2000 in Germany), 2000 G

A self-assembled monolayer-assisted surface microfabrication and release technique: B.J. Kim, M. Liebau, J. Huskens, D. Reinhoudt and J. Brugger・Int.Conf.Micro and Nano-Engineering 2000(oral presentation 20-22,September,,2000 in Germany)pp.135-136, 2000 G


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