超小型機械を作る
本所では、半導体技術と精密機械加工技術を組み合わせて、超微細加工法を開発。ミクロやナノの世界で活躍する超小型機械（マイクロマシン）を作ることに成功しました。現在、フランスやスイスなど海外の研究所機関とも協力しながら、小さな機械に情報や光、流体などを扱う能力を与え、情報技術から、ナノテク、医用まで、幅広い応用を目指しています。
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［おもな研究者］
| ■ | 萌芽期 |
| アドバイザー 原島 文雄 ・ 生駒 俊明 |
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| ■ | 展開期 |
| 樋口 俊郎 ・ Hannes Bleuler ・ 野地 博行 ・ 増沢 隆久 |
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| ■ | 現 在（駒場キャンパス） |
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藤田 博之 ・
荒川 泰彦 ・
川勝 英樹 ・
藤井 輝夫 ・ 年吉 洋 ・ Dominique Collard ・ Alain Bosseboeuf ・ 金 範埈 ・ 竹内 昌治 ・ 河野 崇 |
転がり回転する静電マイクロモータ
１.ロータ ２.中心軸 ３.４.駆動電極
（1992,IBM東京基礎研究所、東大生産研）
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