微小電気機械(MEMS)ピンセットを用いた分子捕獲と特性評価

微小電気機械(MEMS)ピンセットを用いた分子捕獲と特性評価


分子レベルでの生体サンプル評価を目指して、シリコン製のナノピンセットを作製した。ナノピンセット内に集積した静電アクチュエータによってピンセット間のギャップを駆動させ、駆動距離を容量センサによって計測する仕組みである。分子の捕獲は、ナノピンセットに電圧を印加して誘電泳動により行う。空気中・液中において、捕獲した分子を電気・機械的に評価することができる。